Система контроля расхода газов для применения в технологии реактивного магнетронного распыления
Климович, И. М., Кулешов, В. Н, Зайков, В. А., Бурмаков, А. П., Комаров, Ф. Ф., Людчик, О. Р.
Система контроля расхода газов для применения в технологии реактивного магнетронного распыления, [Текст]
ил.
Приборы и методы измерений, 2015, Т. 6, № 2. - С. 139-147
