Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Система контроля расхода газов для применения в технологии реактивного магнетронного распыления
Поиск

Система контроля расхода газов для применения в технологии реактивного магнетронного распыления

Авторы: Климович, И. М. Кулешов, В. Н Зайков, В. А. Бурмаков, А. П. Комаров, Ф. Ф. Людчик, О. Р.
Подробная информация
Индекс УДК 533.9.08:539.216
Система контроля расхода газов для применения в технологии реактивного магнетронного распыления
Текст
Приборы и методы измерений
2015
Т. 6, № 2. - С. 139-147