| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/491918648 |
| Дата корректировки | 22:30:19 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.793.16 |
| Автор | Андреев, М. Н. |
| Заглавие | Получение пленок аморфного и нанокристаллического кремния методом активации горячей нитью |
| Физич. носитель | Текст |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 9 назв. |
| Ключевые слова | газофазное химическое осаждение |
|
аморфный кремний нанокристаллический кремний тонкие пленки кремния |
|
| Другие авторы | Ребров, А. К. |
|
Сафонов, А. И. Тимошенко, Н. И. Кубрак, К. В. Суляева, В. С. |
|
| Название источника | Инженерно-физический журнал |
| Место и дата издания | 2015 |
| Прочая информация | Т. 88, № 4. - С. 969-972 |
| Тип документа | b |
