| Индекс УДК | 621.793.16 |
| Автор | Андреев, М. Н. |
| Заглавие | Получение пленок аморфного и нанокристаллического кремния методом активации горячей нитью |
| Физич. носитель | Текст |
| Ключевые слова | газофазное химическое осаждение |
| Другие авторы | Ребров, А. К. |
| Название источника | Инженерно-физический журнал |
| Место и дата издания | 2015 |
| Прочая информация | Т. 88, № 4. - С. 969-972 |
