Получение пленок аморфного и нанокристаллического кремния методом активации горячей нитью
Андреев, М. Н., Ребров, А. К., Сафонов, А. И., Тимошенко, Н. И., Кубрак, К. В., Суляева, В. С.
ил.
// Инженерно-физический журнал .-
2015 .-
Т. 88, № 4. - С. 969-972 .-
