| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/473613389 |
| Дата корректировки | 22:06:19 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 681.2.081 |
| Автор | Бестугин, А. Р. |
| Заглавие | Метод повышения прочности конструкций микромеханических датчиков на поверхностных акустических волнах с гальванически осажденными чувствительными элементами |
| Физич. носитель | Текст |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 7 назв. |
| Ключевые слова | микромеханические датчики |
|
поверхностные акустические волны гальваническое осаждение сила Ван-дер-Ваальса |
|
| Другие авторы | Киршина, И. А. |
|
Окин, П. А. Филонов, О. М. |
|
| Название источника | Датчики и системы |
| Место и дата издания | 2014 |
| Прочая информация | № 11. - С. 53-58 |
| Тип документа | b |
