| Индекс УДК | 681.2.081 |
| Автор | Бестугин, А. Р. |
| Заглавие | Метод повышения прочности конструкций микромеханических датчиков на поверхностных акустических волнах с гальванически осажденными чувствительными элементами |
| Физич. носитель | Текст |
| Ключевые слова | микромеханические датчики |
| Другие авторы | Киршина, И. А. |
| Название источника | Датчики и системы |
| Место и дата издания | 2014 |
| Прочая информация | № 11. - С. 53-58 |
