Метод повышения прочности конструкций микромеханических датчиков на поверхностных акустических волнах с гальванически осажденными чувствительными элементами
Бестугин, А. Р., Киршина, И. А., Окин, П. А., Филонов, О. М.
ил.
// Датчики и системы .-
2014 .-
№ 11. - С. 53-58 .-
