Поиск

Влияние содержания фтористоводородной кислоты в травителе на образование нанопор в кремнии в ходе электролитического травления

Авторы: Абрамова, Е. Н. Гвелесиани, А. А. Хорт, А. М. Яковенко, А. Г.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/472730826
Дата корректировки 22:05:17 13 октября 2015 г.
Служба первич. каталог. Боровик
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 611.315.594
Абрамова, Е. Н.
Влияние содержания фтористоводородной кислоты в травителе на образование нанопор в кремнии в ходе электролитического травления
Текст
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил., табл.
Библиография Библиогр.: 14 назв.
фтористоводородная кислота
нанопоры
травители
кремний
электролитическое травление
Гвелесиани, А. А.
Хорт, А. М.
Яковенко, А. Г.
Журнал неорганической химии
2014
Т. 59, № 11. - С. 1574-1578
Тип документа b