Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Влияние содержания фтористоводородной кислоты в травителе на образование нанопор в кремнии в ходе электролитического травления
Поиск

Влияние содержания фтористоводородной кислоты в травителе на образование нанопор в кремнии в ходе электролитического травления

Авторы: Абрамова, Е. Н. Гвелесиани, А. А. Хорт, А. М. Яковенко, А. Г.
Подробная информация
Индекс УДК 611.315.594
Влияние содержания фтористоводородной кислоты в травителе на образование нанопор в кремнии в ходе электролитического травления
Текст
Журнал неорганической химии
2014
Т. 59, № 11. - С. 1574-1578