Влияние содержания фтористоводородной кислоты в травителе на образование нанопор в кремнии в ходе электролитического травления
Абрамова, Е. Н., Гвелесиани, А. А., Хорт, А. М., Яковенко, А. Г.
Влияние содержания фтористоводородной кислоты в травителе на образование нанопор в кремнии в ходе электролитического травления, [Текст]
ил., табл.
Журнал неорганической химии, 2014, Т. 59, № 11. - С. 1574-1578
