| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/227771242 |
| Дата корректировки | 21:56:42 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 544 |
| Тураев, Д. Ю. | |
|
Влияние состояния и подготовки поверхности на процесс электроосаждения тонких слоев меди на компоненты микроэлектронных структур Текст |
|
| Библиография | Библиогр.: 2 назв. |
|
электроосаждение медные пленки микроэлектронные структуры подготовка поверхности |
|
|
Гвоздев, В. А. Валеев, А. М. Кругликов, С. С. |
|
|
Гальванотехника и обработка поверхности 2014 Т. 22, № 3. - С. 65-69 |
|
| Тип документа | b |
