Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Влияние состояния и подготовки поверхности на процесс электроосаждения тонких слоев меди на компоненты микроэлектронных структур
Поиск

Влияние состояния и подготовки поверхности на процесс электроосаждения тонких слоев меди на компоненты микроэлектронных структур

Авторы: Тураев, Д. Ю. Гвоздев, В. А. Валеев, А. М. Кругликов, С. С.
Подробная информация
Индекс УДК 544
Влияние состояния и подготовки поверхности на процесс электроосаждения тонких слоев меди на компоненты микроэлектронных структур
Текст
Гальванотехника и обработка поверхности
2014
Т. 22, № 3. - С. 65-69