Влияние состояния и подготовки поверхности на процесс электроосаждения тонких слоев меди на компоненты микроэлектронных структур
Тураев, Д. Ю., Гвоздев, В. А., Валеев, А. М., Кругликов, С. С.
Влияние состояния и подготовки поверхности на процесс электроосаждения тонких слоев меди на компоненты микроэлектронных структур, [Текст]
Гальванотехника и обработка поверхности, 2014, Т. 22, № 3. - С. 65-69
