| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/221015065 |
| Дата корректировки | 21:41:54 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 681.58:620.3 |
| Минченко, В. А. | |
|
Методы и средства автоматического зондового контроля микро-, нано- и СВЧ-структур на пластине и кристалле Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 22 назв. |
|
автоматический зондовый контроль СВЧ-зондирование полупроводниковые структуры |
|
| Другие авторы | Ковальчук, Г. Ф. |
|
Школык, С. Б. Зайцев, В. А. |
|
|
Метрология и приборостроение 2014 № 2. - С. 23-36 |
|
| Тип документа | b |
