Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Методы и средства автоматического зондового контроля микро-, нано- и СВЧ-структур на пластине и кристалле
Поиск

Методы и средства автоматического зондового контроля микро-, нано- и СВЧ-структур на пластине и кристалле

Авторы: Минченко, В. А. Ковальчук, Г. Ф. Школык, С. Б. Зайцев, В. А.
Подробная информация
Индекс УДК 681.58:620.3
Методы и средства автоматического зондового контроля микро-, нано- и СВЧ-структур на пластине и кристалле
Текст
Другие авторы Ковальчук, Г. Ф.
Метрология и приборостроение
2014
№ 2. - С. 23-36