| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/458232072 |
| Дата корректировки | 21:41:11 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 541.135 |
| Тураев, Д. Ю. | |
|
Электроосаждение тонких металлических пленок, содержащих кобальт, на компоненты микроэлектронных структур Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 3 назв. |
|
металлические пленки электроосаждение кобальт микроэлектронные структуры |
|
| Другие авторы | Гвоздев, В. А. |
|
Ибрагимов, Д. Р. Цуканова, О. Ю. Валеев, А. С. Кругликов, С. С. |
|
|
Гальванотехника и обработка поверхности 2014 Т. 22, № 2. - С. 36-42 |
|
| Тип документа | b |
