Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Электроосаждение тонких металлических пленок, содержащих кобальт, на компоненты микроэлектронных структур
Поиск

Электроосаждение тонких металлических пленок, содержащих кобальт, на компоненты микроэлектронных структур

Авторы: Тураев, Д. Ю. Гвоздев, В. А. Ибрагимов, Д. Р. Цуканова, О. Ю. Валеев, А. С. Кругликов, С. С.
Подробная информация
Индекс УДК 541.135
Электроосаждение тонких металлических пленок, содержащих кобальт, на компоненты микроэлектронных структур
Текст
Другие авторы Гвоздев, В. А.
Гальванотехника и обработка поверхности
2014
Т. 22, № 2. - С. 36-42