Электроосаждение тонких металлических пленок, содержащих кобальт, на компоненты микроэлектронных структур
Тураев, Д. Ю., Гвоздев, В. А., Ибрагимов, Д. Р., Цуканова, О. Ю., Валеев, А. С., Кругликов, С. С.
Электроосаждение тонких металлических пленок, содержащих кобальт, на компоненты микроэлектронных структур, [Текст]
ил.
Гальванотехника и обработка поверхности, 2014, Т. 22, № 2. - С. 36-42
