Каталог библиотеки БГТУ

1. Список доступных баз данных
2. Статьи
3. Поиск

Результаты поиска по словарям. Статьи

• Plasma parameters and densities of active species in mixtures of fluorocarbon gases with argon and оxygen
  Efremov, A. M., Kwang-Ho Kwon, Betelin, V. B., Mednikov, K. A.
  
  Plasma parameters and densities of active species in mixtures of fluorocarbon gases with argon and оxygen, A. M. Efremov, V. B. Betelin, K. A. Mednikov, Kwang-Ho Kwon 3 рис., 1 табл. // Известия вузов. Химия и химическая технология .- 2021 .- Т. 64, вып. 7. - С. 46-53 .-
• Gas-phase parameters and reactive-ion etching regimes for Si and SiO[2] in binary Ar+CF[4]/C[4]F[8] mixtures
  Efremov, A. M., Kwang-Ho Kwon, Betelin, V. B., Mednikov, K. A.
  
  Gas-phase parameters and reactive-ion etching regimes for Si and SiO[2] in binary Ar+CF[4]/C[4]F[8] mixtures, A. M. Efremov, V. B. Betelin, K. A. Mednikov, Kwang-Ho Kwon 3 рис. // Известия вузов. Химия и химическая технология .- 2021 .- Т. 64, вып. 6. - С. 25-34 .-