-
Послойный состав и структура кремния, подвергнутого совместной ионной имплантации галлия и азота для ионного синтеза GaN
Михайлов, А. Н., Белов, А. И., Васильев, В. К., Гусейнов, Д. В., Окулич, Е. В., Шемухин, А. А., Суродин, С. И., Нежданов, А. В., Пирогов, А. В., Тетельбаум, Д. И.
Послойный состав и структура кремния, подвергнутого совместной ионной имплантации галлия и азота для ионного синтеза GaN, [Электронный ресурс]
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 2. - С. 274-278 .-
Королев_послойный
-
Особенности формирования нанопористых мембран оксида алюминия из фольги и новые области применения
Муратова, Е. Н., Лучинин, В. В., Мошников, В. А., Лифшиц, В. А., Матюшкин, Л. Б., Панов, М. Ф., Потрахов, Н. Н., Галунин, С. А., Ишин, В. В., Шемухин, А. А.
Особенности формирования нанопористых мембран оксида алюминия из фольги и новые области применения, [[Текст]], Муратова Е. Н. [и др.]
ил.
// Физика и химия стекла .-
2017 .-
Т. 43, № 2. - С. 207-215 .-
-
Изучение профиля распределения железа, имплантированного в кремний
Кожемяко, А. В., Балакшин, Ю. В., Шемухин, А. А., Черныш, В. С.
Изучение профиля распределения железа, имплантированного в кремний, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2017, Т. 51, вып. 6. - С. 778-782
Кожемяко_изучение
