-
Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении
Яфаров, Р. К., Шаныгин, В. Я.
Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении, [Электронный ресурс]
ил.
Физика твердого тела, 2016, Т. 58, вып. 2. - С. 350-353
Яфаров_морфологическая
-
Морфологическая устойчивость атомно-чистой поверхности кристаллов кремния (100) после СВЧ плазмохимической обработки
Яфаров, Р. К., Шаныгин, В. Я.
Морфологическая устойчивость атомно-чистой поверхности кристаллов кремния (100) после СВЧ плазмохимической обработки, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 1. - С. 55-59 .-
Яфаров_морфологическая
-
Поверхностное наноструктурирование в системе углерод-кремний (100) при микроволновой плазменной обработке
Яфаров, Р. К., Шаныгин, В. Я.
Поверхностное наноструктурирование в системе углерод-кремний (100) при микроволновой плазменной обработке, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2017, Т. 51, вып. 4. - С. 558-562
Яфаров_поверхностное
