| Индекс УДК | 539.21 |
|
Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении Электронный ресурс |
|
|
Физика твердого тела 2016 Т. 58, вып. 2. - С. 350-353 |
|
| Имя макрообъекта | Яфаров_морфологическая |
