| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/667395862 |
| Дата корректировки | 8:30:35 2 августа 2021 г. |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Яфаров, Р. К. | |
|
Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 7 назв. |
| Аннотация | Изложены результаты исследований динамики релаксационной модификации морфологических характеристик атомно-чистых поверхностей кристаллов кремния (100) различных типов проводимости после СВЧ ионно-физического травления в среде аргона. Впервые экспериментально показано и дано физико-химическое обоснование механизма влияния электронных свойств на морфологические характеристики и свободную энергию поверхности кристаллов кремния. |
|
кристаллы кремний электронная структура кристаллов поверхности кристаллов атомно-чистые поверхности морфологические характеристики СВЧ ионно-физическое травление |
|
| Шаныгин, В. Я. | |
|
Физика твердого тела 2016 Т. 58, вып. 2. - С. 350-353 |
|
| Имя макрообъекта | Яфаров_морфологическая |
| Тип документа | b |
