| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Поверхностное наноструктурирование в системе углерод-кремний (100) при микроволновой плазменной обработке Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | поверхностное наноструктурирование |
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 4. - С. 558-562 |
|
| Имя макрообъекта | Яфаров_поверхностное |
