| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/679670796 |
| Дата корректировки | 13:30:30 15 июля 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2017.04.44352.8207 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Яфаров, Р. К. | |
|
Поверхностное наноструктурирование в системе углерод-кремний (100) при микроволновой плазменной обработке Электронный ресурс |
|
| Surface nanostructuring in system carbon-silicon (100) at microwave plasma processing | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 6 назв. |
| Аннотация | Рассмотрены физико-химические процессы и механизмы влияния плазменной подготовки поверхности на закономерности конденсации и поверхностные фазовые превращения при формировании масковых кремний-углеродных доменов на кристаллах кремния (100) p-типа при осаждении субмонослойных углеродных покрытий в СВЧ-плазме паров этанола низкого давления. Показано, что при кратковременных длительностях осаждения углерода на кремниевые пластины с естественным оксидным покрытием при температуре 100°C наблюдается формирование доменов с латеральными размерами от 10-15 до 200 нм, а высоты выступов, полученных плазмохимическим травлением кремния через доменные масковые покрытия, изменяются в интервале от 40 до 80 нм. |
| Ключевые слова | поверхностное наноструктурирование |
|
углерод-кремний (100) кремний-углеродные домены микроволновая плазменная обработка кремниевые пластины плазмохимическое травление полупроводники квантово-размерные структуры СВЧ-плазма |
|
| Шаныгин, В. Я. | |
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 4. - С. 558-562 |
|
| Имя макрообъекта | Яфаров_поверхностное |
| Тип документа | b |
