-
Состав и оптические свойства аморфных пленок a-SiO[x] : H с нанокластерами кремния
Терехов, В. А., Теруков, Е. И., Ундалов, Ю. К., Паринова, Е. В., Спирин, Д. Е., Середин, П. В., Минаков, Д. А., Домашевская, Э.П.
Состав и оптические свойства аморфных пленок a-SiO[x] : H с нанокластерами кремния, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 2. - С. 212-217 .-
Терехов_состав
-
Получение нанокластеров кремния, ncl-Si, в матрице гидрированного аморфного субокисла кремния, a-SiO[x] : H (0 < x < 2), с помощью модулированной во времени плазмы магнетрона на постоянном токе
Ундалов, Ю. К., Теруков, Е. И., Гусев, О. Б., Трапезникова, И. Н.
Получение нанокластеров кремния, ncl-Si, в матрице гидрированного аморфного субокисла кремния, a-SiO[x] : H (0 < x < 2), с помощью модулированной во времени плазмы магнетрона на постоянном токе, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 4. - С. 538-548 .-
Ундалов_получение
-
Изучение влияния временных характеристик модулированной DC-плазмы с (SiH[4]-Ar-O[2])-газовой фазой на рост ncl-Si в матрице a-SiO[x] : H (CO[2] = 15.5мол%)
Ундалов, Ю. К., Теруков, Е. И., Трапезникова, И. Н.
Изучение влияния временных характеристик модулированной DC-плазмы с (SiH[4]-Ar-O[2])-газовой фазой на рост ncl-Si в матрице a-SiO[x] : H (CO[2] = 15.5мол%) , [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2018, Т. 52, вып. 10. - С. 1137-1144
Ундалов_изучение
