Индекс УДК | 621.315.592 |
Автор | Терехов, В. А. |
Состав и оптические свойства аморфных пленок a-SiO[x] : H с нанокластерами кремния Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | аморфные пленки |
Другие авторы | Теруков, Е. И. |
Название источника | Физика и техника полупроводников |
Место и дата издания | 2016 |
Прочая информация | Т. 50, вып. 2. - С. 212-217 |
Имя макрообъекта | Терехов_состав |