Поиск

Состав и оптические свойства аморфных пленок a-SiO[x] : H с нанокластерами кремния

Авторы: Терехов, В. А. Теруков, Е. И. Ундалов, Ю. К. Паринова, Е. В. Спирин, Д. Е. Середин, П. В. Минаков, Д. А. Домашевская, Э.П.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Автор Терехов, В. А.
Состав и оптические свойства аморфных пленок a-SiO[x] : H с нанокластерами кремния
Электронный ресурс
Ключевые слова аморфные пленки
Другие авторы Теруков, Е. И.
Название источника Физика и техника полупроводников
Место и дата издания 2016
Прочая информация Т. 50, вып. 2. - С. 212-217
Имя макрообъекта Терехов_состав