-
Структурные и оптические характеристики гетероструктур SiC/Si, полученных методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремния
Лобанок, М. В., Мухаммад, А. И., Гайдук, П. И.
Структурные и оптические характеристики гетероструктур SiC/Si, полученных методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремния, М. В. Лобанок, А. И. Мухаммад, П. И. Гайдук
// Журнал прикладной спектроскопии .-
2022 .-
Т. 89, № 2. - С. 204-209 .-
-
Структурные и оптические характеристики гетероструктур SiC/Si, полученных методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремния
Лобанок, М. В., Мухаммад, А. И., Гайдук, П. И.
Структурные и оптические характеристики гетероструктур SiC/Si, полученных методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремния, М. В. Лобанок, А. И. Мухаммад, П. И. Гайдук
// Журнал прикладной спектроскопии .-
2022 .-
Т. 89, № 2. - С. 204-209 .-
-
Формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC на Si методом быстрой вакуумно-термической обработки
Лобанок, М. В., Прокопьев, С. Л., Моховиков, М. А., Королик, О. В., Гайдук, П. И.
Формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC на Si методом быстрой вакуумно-термической обработки, М. В. Лобанок, С. Л. Прокопьев, М. А. Моховиков [и др.]
2022 .-
2 рис.
