Кристаллическая структура и механические свойства пленок нитрида титана, синтезированных методом магнетронного распыления с горячей мишенью
Шаповалов, В. И., Усеинов, А. С., Кравчук, К. С., Гладких, Е. В., Козин, А. А., Смирнов, В. В.
Кристаллическая структура и механические свойства пленок нитрида титана, синтезированных методом магнетронного распыления с горячей мишенью, Шаповалов В. И. [и др.], [Текст]
ил.
2017, Т. 43, № 5. - С. 539-542, Физика и химия стекла, 0132-6651