| Индекс УДК | 546.82 |
|
Кристаллическая структура и механические свойства пленок нитрида титана, синтезированных методом магнетронного распыления с горячей мишенью [Текст] Шаповалов В. И. [и др.] |
|
| Аннотация | Методом рентгенофазового анализа изучено влияние расхода азота и плотности тока разряда на кристаллическую структуру пленок нитрида титана, синтезированных методом реактивного магнетронного распыления горячей мишени на постоянном токе. Установлено, что в пленках образуется фаза нитрида титана кубической сингонии. Повышение плотности тока приводит в пленках к текстурированию кристаллов параллельно плоскости (111). При этом существенно возрастают твердость и модуль нормальной упругости. |
| Название источника | Физика и химия стекла |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 43, № 5. - С. 539-542 |
