| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | phcs17_to43_no5_ss539_ad1 |
| Дата корректировки | 14:52:15 31 июля 2019 г. |
| Кодируемые данные | 190716s2017||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-phcs17_to43_no5_ss539_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БГТУ МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 546.82 |
| Индекс ББК | 24.12 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Шаповалов, В. И. 070 z01710 |
|
|
Кристаллическая структура и механические свойства пленок нитрида титана, синтезированных методом магнетронного распыления с горячей мишенью [Текст] Шаповалов В. И. [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: с. 542 (14 назв. ) |
| Аннотация | Методом рентгенофазового анализа изучено влияние расхода азота и плотности тока разряда на кристаллическую структуру пленок нитрида титана, синтезированных методом реактивного магнетронного распыления горячей мишени на постоянном токе. Установлено, что в пленках образуется фаза нитрида титана кубической сингонии. Повышение плотности тока приводит в пленках к текстурированию кристаллов параллельно плоскости (111). При этом существенно возрастают твердость и модуль нормальной упругости. |
|
Химия AR-MARS Химические элементы и их соединения AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
нитрид титана магнетрон кристаллическая структура нанотвердость модуль Юнга Юнга модуль оксинитриды рентгенофазовый анализ реактивное магнетронное распыление текстурирование кристаллов |
|
Усеинов, А. С. 070 z02710 Кравчук, К. С. 070 z03710 Гладких, Е. В. 070 z04710 Козин, А. А. 070 z05710 Смирнов, В. В. 070 z06710 |
|
|
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет им. В. И. Ульянова (Ленина) "ЛЭТИ" z01700 Вторичная ответственность Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов z02700 Москва Вторичная ответственность Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов z03700 Москва Вторичная ответственность Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов z04700 Москва Вторичная ответственность Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет им. В. И. Ульянова (Ленина) "ЛЭТИ" z05700 Вторичная ответственность Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет им. В. И. Ульянова (Ленина) "ЛЭТИ" z06700 Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0132-6651 |
| Название источника | Физика и химия стекла |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 43, № 5. - С. 539-542 |
|
RU 22013539 20190716 RCR |
|
|
RU 22013539 20190716 |
|
|
RU AR-MARS 20190716 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20190716 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
phcs 2017 43 5 539 1 |
|
| 14889 | |
| Краткие сообщения |
