Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Кристаллическая структура и механические свойства пленок нитрида титана, синтезированных методом магнетронного распыления с горячей мишенью
Поиск

Кристаллическая структура и механические свойства пленок нитрида титана, синтезированных методом магнетронного распыления с горячей мишенью

Авторы: Шаповалов, В. И. Усеинов, А. С. Кравчук, К. С. Гладких, Е. В. Козин, А. А. Смирнов, В. В.
Подробная информация
Индекс УДК 546.82
Кристаллическая структура и механические свойства пленок нитрида титана, синтезированных методом магнетронного распыления с горячей мишенью
Шаповалов В. И. [и др.]
Текст
2017
Т. 43, № 5. - С. 539-542
Физика и химия стекла
0132-6651