| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/570898392 |
| Дата корректировки | 13:33:18 16 июля 2019 г. |
| Кодируемые данные | 180202s2017||||ru |||||||||||000|||rus#d |
| Служба первич. каталог. |
БГТУ МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 546.82 |
| Индекс ББК | 24.12 |
|
Шаповалов, В. И. 070 z01710 |
|
|
Кристаллическая структура и механические свойства пленок нитрида титана, синтезированных методом магнетронного распыления с горячей мишенью Шаповалов В. И. [и др.] Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: с. 542 (14 назв.) |
| Аннотация | Методом рентгенофазового анализа изучено влияние расхода азота и плотности тока разряда на кристаллическую структуру пленок нитрида титана, синтезированных методом реактивного магнетронного распыления горячей мишени на постоянном токе. Установлено, что в пленках образуется фаза нитрида титана кубической сингонии. Повышение плотности тока приводит в пленках к текстурированию кристаллов параллельно плоскости (111). При этом существенно возрастают твердость и модуль нормальной упругости. |
|
Химия Химические элементы и их соединения |
|
|
нитрид титана магнетрон кристаллическая структура нанотвердость модуль Юнга Юнга модуль оксинитриды рентгенофазовый анализ реактивное магнетронное распыление текстурирование кристаллов |
|
|
Усеинов, А. С. 070 z02710 Кравчук, К. С. 070 z03710 Гладких, Е. В. 070 z04710 Козин, А. А. 070 z05710 Смирнов, В. В. 070 z06710 |
|
|
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет им. В. И. Ульянова (Ленина) "ЛЭТИ" z01100 Вторичная ответственность Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов z02700 Москва Вторичная ответственность Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов z03700 Москва Вторичная ответственность Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов z04700 Москва Вторичная ответственность Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет им. В. И. Ульянова (Ленина) "ЛЭТИ" z05700 Вторичная ответственность Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет им. В. И. Ульянова (Ленина) "ЛЭТИ" z06700 Вторичная ответственность |
|
|
2017 Т. 43, № 5. - С. 539-542 Физика и химия стекла 0132-6651 |
|
| Тип документа | b |
| Краткие сообщения |
