Структура, соcтав и свойства кремния, имплантированного ионами цинка и кислорода при повышенной температуре
Привезенцев, В. В., Киселёв, Д. А., Сергеев, А. П., Куликаускас, В. С., Киселев, Д. А., Трифонов, А. Ю., Терещенко, А. Н.
Структура, соcтав и свойства кремния, имплантированного ионами цинка и кислорода при повышенной температуре, [Электронный ресурс]
цв. ил.
// Физика и техника полупроводников .-
2020 .-
Т. 54, вып. 12. - С. 1376-1382 .-
Привезенцев_структура