Поиск

Структура, соcтав и свойства кремния, имплантированного ионами цинка и кислорода при повышенной температуре

Авторы: Привезенцев, В. В. Киселёв, Д. А. Сергеев, А. П. Куликаускас, В. С. Киселев, Д. А. Трифонов, А. Ю. Терещенко, А. Н.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Структура, соcтав и свойства кремния, имплантированного ионами цинка и кислорода при повышенной температуре
Электронный ресурс
Название источника Физика и техника полупроводников
Место и дата издания 2020
Прочая информация Т. 54, вып. 12. - С. 1376-1382
Имя макрообъекта Привезенцев_структура