Индекс УДК | 621.315.592 |
Структура, соcтав и свойства кремния, имплантированного ионами цинка и кислорода при повышенной температуре Электронный ресурс |
|
Название источника | Физика и техника полупроводников |
Место и дата издания | 2020 |
Прочая информация | Т. 54, вып. 12. - С. 1376-1382 |
Имя макрообъекта | Привезенцев_структура |