Синтез диэлектрических пленок карбонитрида кремния с улучшенными оптическими и механическими свойствами из тетраметилдисилазана
Файнер, Н. И., Голубенко, А. Н., Румянцев, Ю. М., Кеслер, В. Г., Максимовский, Е. А., Аюпов, Б. М., Кузнецов, Ф. А.
Синтез диэлектрических пленок карбонитрида кремния с улучшенными оптическими и механическими свойствами из тетраметилдисилазана, [Текст]
ил.
Физика и химия стекла, 2013, Т. 39, № 1. - С. 114-129