Влияние концентрации кислорода в составе газовой плазмообразующей смеси на оптические и структурные свойства пленок нитрида алюминия
Лубянский, Я. В., Золотарёв, В. В., Бондарев, А. Д., Сошников, И. П., Берт, Н. А., Золотарев, В. В., Кириленко, Д. А., Котляр, К. П., Пихтин, Н. А., Тарасов, И. С.
Влияние концентрации кислорода в составе газовой плазмообразующей смеси на оптические и структурные свойства пленок нитрида алюминия, [Электронный ресурс]
ил., табл.
Физика и техника полупроводников, 2018, Т. 52, вып. 2. - С. 196-200
Лубянский_влияние