Атомно-слоевое осаждение нитрида и оксинитрида алюминия на кремнии с использованием трис(диметиламидо)алюминия, аммиака и воды
Абдулагатов, А. И., Амашаев, Р. Р., Ашурбекова, Кр. Н., Ашурбекова, К. Н., Рабаданов, М. Х., Абдулагатов, И. М.
Атомно-слоевое осаждение нитрида и оксинитрида алюминия на кремнии с использованием трис(диметиламидо)алюминия, аммиака и воды, [[Текст]], А. И. Абдулагатов [и др.]
// Журнал общей химии .-
2018 .-
Т. 88 (150), вып. 8. - С. 1381-1388 .-