| Индекс УДК | 661.2/.6 |
|
Молекулярно-слоевое осаждение и термические превращения титан(алюминий)-ванадиевых органо-оксидных пленок [Текст] А. И. Абдулагатов [и др.] |
|
| Аннотация | Молекулярно-слоевым осаждением синтезированы гибридные титан-ванадиевые и алюминий-ванадиевые органо-неорганические пленки путем последовательной и многократной попеременной обработки подложки парами тетрахлорида титана (или триметилалюминия), оксохлорида ванадия и этиленгликоля. С контролем процесса наращивания пленок в режиме in situ установлен самоограничивающийся характер поверхностных реакций при температурах 90 и 115°С. Термообработка на воздухе алюминий-ванадиевых пленок привела к формированию структуры с низкой плотностью. При пиролизе пленок в атмосфере инертного газа были получены композитные покрытия, содержащие домены графитизированного углерода. Полученные пленки могут найти применение в современных устройствах для накопления энергии, электронике, медицине и других перспективных областях. |
| Название источника | Журнал прикладной химии |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 91, вып. 3. - С. 305-318 |
