| Индекс УДК | 544.72 |
|
Атомно-слоевое осаждение нитрида и оксинитрида алюминия на кремнии с использованием трис(диметиламидо)алюминия, аммиака и воды [Текст] А. И. Абдулагатов [и др.] |
|
| Аннотация | Методом атомно-слоевого осаждения получены тонкие пленки нитрида и оксинитрида алюминия. |
| Название источника | Журнал общей химии |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 88 (150), вып. 8. - С. 1381-1388 |
