| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zoch18_to88_vy8_ss1381_ad1 |
| Дата корректировки | 11:18:30 28 ноября 2018 г. |
| Кодируемые данные | 181107s2018||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zoch18_to88_vy8_ss1381_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Петрозаводского государственного университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 544.72 |
| Индекс ББК | 24.58 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Абдулагатов, А. И. 070 z01710 |
|
|
Атомно-слоевое осаждение нитрида и оксинитрида алюминия на кремнии с использованием трис(диметиламидо)алюминия, аммиака и воды [Текст] А. И. Абдулагатов [и др.] |
|
| Библиография | Библиогр. в конце статьи |
| Аннотация | Методом атомно-слоевого осаждения получены тонкие пленки нитрида и оксинитрида алюминия. |
|
Химия AR-MARS Физическая химия поверхностных явлений AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
атомно-слоевое осаждение нитрид алюминия оксинитрид алюминия трис (диметиламидо) алюминий кремний аммиак вода тонкие пленки алюминий осаждение химическое осаждение |
|
Амашаев, Р. Р. 070 z02710 Ашурбекова, Кр. Н. 070 z03710 Ашурбекова, К. Н. 070 z04710 Рабаданов, М. Х. 070 z05710 Абдулагатов, И. М. 070 z06710 |
|
|
Дагестанский государственный университет z01700 Махачкала Вторичная ответственность Дагестанский государственный университет z02700 Махачкала Вторичная ответственность Дагестанский государственный университет z03700 Махачкала Вторичная ответственность Дагестанский государственный университет z04700 Махачкала Вторичная ответственность Дагестанский государственный университет z05700 Махачкала Вторичная ответственность Дагестанский государственный университет z06700 Махачкала Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0044-460X |
| Название источника | Журнал общей химии |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 88 (150), вып. 8. - С. 1381-1388 |
|
RU 18513093 20181107 RCR |
|
|
RU 18513093 20181107 |
|
|
RU AR-MARS 20181109 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20181109 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
zoch 2018 88 8 1381 1 |
|
| 12804 |
