Молекулярно-слоевое осаждение и пиролиз пленок полиамида на Si(111) с образованием бета-SIC
Амашаев, Р. Р., Абдулагатов, И. М., Рабаданов, М. Х., Абдулагатов, А. И.
Молекулярно-слоевое осаждение и пиролиз пленок полиамида на Si(111) с образованием бета-SIC, Амашаев Р. Р., Абдулагатов И. М., Рабаданов М. Х., Абдулагатов А. И.
// Журнал физической химии .-
2021 .-
Т. 95, № 7. - С. 1078-1088 .-