| Индекс УДК | 544.72 |
|
Молекулярно-слоевое осаждение и пиролиз пленок полиамида на Si(111) с образованием бета-SIC Амашаев Р. Р., Абдулагатов И. М., Рабаданов М. Х., Абдулагатов А. И. |
|
| Аннотация | Проведено молекулярно-слоевое осаждение тонких пленок полиамида с использованием прекурсоров 1, 3, 5-бензолтрикарбонилтрихлорида (тримезоилхлорида, TMХ) и 1, 2-этилендиамина (ЭДА) при температуре 120°С; постоянная роста пленки при данной температуре составляла 1. 85 нм/цикл. |
| Название источника | Журнал физической химии |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 95, № 7. - С. 1078-1088 |
