| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zfch21_to95_no7_ss1078_ad1 |
| Дата корректировки | 11:37:04 29 июля 2021 г. |
| Кодируемые данные | 210629s2021||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zfch21_to95_no7_ss1078_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Казанский национальный исследовательский технологический университет, Учебно-научный информационный центр МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 544.72 |
| Индекс ББК | 24.58 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Амашаев, Р. Р. 070 |
|
|
Молекулярно-слоевое осаждение и пиролиз пленок полиамида на Si(111) с образованием бета-SIC Амашаев Р. Р., Абдулагатов И. М., Рабаданов М. Х., Абдулагатов А. И. |
|
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: c. 1088 (18 назв.) |
| Аннотация | Проведено молекулярно-слоевое осаждение тонких пленок полиамида с использованием прекурсоров 1, 3, 5-бензолтрикарбонилтрихлорида (тримезоилхлорида, TMХ) и 1, 2-этилендиамина (ЭДА) при температуре 120°С; постоянная роста пленки при данной температуре составляла 1. 85 нм/цикл. |
|
Химия AR-MARS Физическая химия поверхностных явлений AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
карбид кремния тонкие пленки молекулярно-слоевое осаждение пиролиз |
| полиамид | |
|
Абдулагатов, И. М. 070 Рабаданов, М. Х. 070 Абдулагатов, А. И. 070 |
|
| ISSN | 0044-4537 |
| Название источника | Журнал физической химии |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 95, № 7. - С. 1078-1088 |
|
RU 42013534 20210629 RCR |
|
|
RU 42013534 20210629 |
|
|
RU AR-MARS 20210707 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20210707 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zfch 2021 95 7 1078 1 |
|
| 12811 | |
| Физическая химия поверхностных явлений |
