Формирование многослойных структур с интегрированными мембранами на основе пористого кремния
Болотов, В. В., Пономарёва, И. В., Ивлев, К. Е., Князев, Е. В., Пономарева, И. В., Росликов, В. Е.
Формирование многослойных структур с интегрированными мембранами на основе пористого кремния, [Электронный ресурс]
ил., табл.
Физика и техника полупроводников, 2020, Т. 54, вып. 5. - С. 504-509
Болотов_формирование