Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Формирование многослойных структур с интегрированными мембранами на основе пористого кремния
Поиск

Формирование многослойных структур с интегрированными мембранами на основе пористого кремния

Авторы: Болотов, В. В. Пономарёва, И. В. Ивлев, К. Е. Князев, Е. В. Пономарева, И. В. Росликов, В. Е.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Формирование многослойных структур с интегрированными мембранами на основе пористого кремния
Электронный ресурс
Ключевые слова пористый кремний
Физика и техника полупроводников
2020
Т. 54, вып. 5. - С. 504-509
Имя макрообъекта Болотов_формирование