-
Комбинация плазмохимического и жидкостного травления как способ оптимизации рельефа на поверхности AlGaInN-гетероструктур
Марков, Л. К., Смирнова, И. П., Кукушкин, М. В., Павлюченко, А. С.
Комбинация плазмохимического и жидкостного травления как способ оптимизации рельефа на поверхности AlGaInN-гетероструктур, [Электронный ресурс]
ил., табл.
Физика и техника полупроводников, 2020, Т. 54, вып. 10. - С. 1106-1111
Марков_комбинация
-
Способ получения пленок ITO с контролируемым значением показателя преломления
Марков, Л. К., Смирнова, И. П., Павлюченко, А. С., Кукушкин, М. В., Закгейм, Д. А., Павлов, С. И.
Способ получения пленок ITO с контролируемым значением показателя преломления, [Электронный ресурс]
ил.
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 7. - С. 1001-1006 .-
Марков_способ
-
Модификация рельефа n-поверхности AlGaInN-светодиодов изменением состава газовой смеси при реактивном ионном травлении
Марков, Л. К., Смирнова, И. П., Кукушкин, М. В., Павлюченко, А. С.
Модификация рельефа n-поверхности AlGaInN-светодиодов изменением состава газовой смеси при реактивном ионном травлении, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2020, Т. 54, вып. 6. - С. 564-568
Марков_модификация
