| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Комбинация плазмохимического и жидкостного травления как способ оптимизации рельефа на поверхности AlGaInN-гетероструктур Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | нитрид галлия |
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 10. - С. 1106-1111 |
|
| Имя макрообъекта | Марков_комбинация |
