| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Модификация рельефа n-поверхности AlGaInN-светодиодов изменением состава газовой смеси при реактивном ионном травлении Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | светоизлучающие диоды |
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 6. - С. 564-568 |
|
| Имя макрообъекта | Марков_модификация |
